[发明专利]碳化硅功率模块的封装方法及碳化硅功率模块有效
申请号: | 201110000519.6 | 申请日: | 2011-01-04 |
公开(公告)号: | CN102130021A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
发明(设计)人: | 丁荣军;罗海辉;雷云;李继鲁;吴煜东;刘国友;彭勇殿;张明;温家良;金锐 | 申请(专利权)人: | 株洲南车时代电气股份有限公司;中国电力科学研究院 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/488;H01L23/29;H01L25/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明;王宝筠 |
地址: | 412001*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种碳化硅功率模块的封装方法,包括以下步骤:在钼板上焊接一层氮化铝隔离层,将碳化硅芯片放置到氮化铝隔离层的空格中,与钼板焊接;在碳化硅芯片上焊接钼块,钼块上预留门极引线槽;将引线放置在门极引线槽内,在引线上设置一压环,压环内放置弹簧,弹簧压接引线,收集引线并引出;用环氧树脂将钼板、氮化硅隔离层及碳化硅芯片整体浇筑成型,安装底座、管壳和管盖,进行封装。本发明还公开一种碳化硅功率模块。本发明可使碳化硅功率模块在大功率、高温工作条件下具有较高的可靠性,较强的热循环能力。 | ||
搜索关键词: | 碳化硅 功率 模块 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种碳化硅功率模块的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:在钼板上焊接一层氮化铝隔离层,将碳化硅芯片放置到氮化铝隔离层的空格中,与钼板焊接;在碳化硅芯片上焊接钼块,钼块上预留门极引线槽;将引线放置在门极引线槽内,在引线上设置一压环,压环内放置弹簧,弹簧压接引线,收集引线并引出;用环氧树脂将钼板、氮化硅隔离层及碳化硅芯片整体浇筑成型,安装底座、管壳和管盖,进行封装。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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