[发明专利]具应变规的点测装置无效
| 申请号： | 201110000531.7 | 申请日： | 2011-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102169159A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈正泰;陈志伟;戴谷芳;李志宏 | 申请（专利权）人： | 豪勉科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 中国台湾台北市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种具应变规的点测装置，包括一摆臂、一探针夹持部、一控制单元及一探针，其中该摆臂能接收外部电源，且其上设有一应变规，在该摆臂产生变形量时，会使该应变规的电阻值发生变化，另，该探针夹持部的一端固设在该摆臂上，其另一端则夹持住一探针，再者，该控制单元电连接至该应变规，且能侦测该应变规的电阻值变化量，并将该电阻值变化量依一对照表，转换为一重量单位(如：克)，以进行对应的控制程序，如此，该控制单元能根据测量到的该应变规的电阻值变化量，得知并控制该探针对该晶圆的下压力。 | ||
| 搜索关键词： | 应变 装置 | ||
【主权项】：
一种具应变规的点测装置，其特征在于，所述具应变规的点测装置包括：一摆臂，其一端固定至一装置的固定端上，且接收一外部电源；一应变规，固设在所述摆臂上，且会随着所述摆臂的变形量而产生电阻值的变化；一探针夹持部，其一端连接至所述摆臂的另一端；一探针，被所述探针夹持部所夹持固定住，且与所述摆臂相电连接；及一控制单元，电连接至所述应变规，侦测所述应变规的电阻值变化量，且将所述电阻值变化量依一对照表，转换为一重量单位，并执行对应的处理程序。
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