[发明专利]基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器无效
申请号: | 201110000946.4 | 申请日: | 2011-01-05 |
公开(公告)号: | CN102183566A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 高国强 | 申请(专利权)人: | 高国强 |
主分类号: | G01N27/409 | 分类号: | G01N27/409 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 徐冬涛;瞿网兰 |
地址: | 210009 江苏省南京市鼓*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器,它包括壳体(1),在所述的壳体(1)上设置有气体扩散毛细管(7),其特征是所述的气体扩散毛细管(7)是通过用化学腐蚀法将预埋在壳体中的直径为0.02-0.3mm、长度为0.2-6mm金属丝溶解后形成的。本发明的制造氧浓度传感器扩散毛细管的方法制作简单、可靠、易行,不需要用激光雕刻机等大型、昂贵的设备,成本低廉。所制造的传感器精度高,一致性好。 | ||
搜索关键词: | 基于 毛细管 化学 腐蚀 氧气 体积 百分比 浓度 传感器 | ||
【主权项】:
一种基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器,它包括壳体(1),在所述的壳体(1)上设置有气体扩散毛细管(7),其特征是所述的气体扩散毛细管(7)是通过用化学腐蚀法将预埋在壳体中的直径为0.02‑0.3mm、长度为0.2‑6mm金属丝溶解后形成的。
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