[发明专利]晶圆清洗装置及利用该晶圆清洗装置清洗晶圆的方法

摘要

本发明公开了一种晶圆清洗装置及利用所述晶圆清洗装置清洗晶圆的方法，晶圆清洗装置设置在抛光设备的抛光工位与缓冲工位之间，晶圆清洗装置包括：多个扇形喷头，扇形喷头的喷口朝向上以将清洗液以扇形形状向上喷射到由抛光头带动从抛光工位朝向缓冲工位移动的晶圆上；和清洗液输送管，清洗液输送管与多个扇形喷头相连用于将清洗液输送到多个扇形喷头，且清洗液输送管为环形以使多个扇形喷头成环形分布。根据本发明实施例的晶圆清洗装置能够从晶圆表面的下方将清洗液喷射到晶圆的表面，从而对晶圆的表面进行全面的清洗。而且，扇形喷头可以喷射出扇形形状的清洗液，从而使清洗液均匀地分布到晶圆的表面，避免因清洗液对晶圆的表面产生冲击。

主权项

一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置设置在抛光设备的抛光工位与缓冲工位之间，所述晶圆清洗装置包括：多个扇形喷头，所述扇形喷头的喷口朝向上以将清洗液以扇形形状向上喷射到由抛光头带动从抛光工位朝向缓冲工位移动的晶圆上；和清洗液输送管，所述清洗液输送管与所述多个扇形喷头相连用于将清洗液输送到所述多个扇形喷头，且所述清洗液输送管为环形以使所述多个扇形喷头成环形分布。