[发明专利]一种氧化镁蒸镀装置无效
| 申请号： | 201110002523.6 | 申请日： | 2011-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102051575A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 金烨;屠彦;杨兰兰;王莉莉;蔡国龙;马善乐;张盼盼;秦娜娜 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/08;C23C14/30 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 211109 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超薄基板玻璃在蒸镀过程中不会发生破裂和偏移，以保证产品合格率，且操作简单、成本低廉的氧化镁蒸镀装置。它包括一块衬底玻璃，衬底玻璃的上部放置有一对超薄基板玻璃；带有两个方孔的铝箔覆盖衬底玻璃，方孔中心对准超薄基板玻璃；使用衬底玻璃固定夹子将铝箔和衬底玻璃固定在衬底玻璃下部的铝板上，由垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，铝板固定在其下部的铝架上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化镁 装置 | ||
【主权项】：
一种氧化镁蒸镀装置，其特征是：包括一块衬底玻璃，衬底玻璃的上部放置有一对超薄基板玻璃；带有两个方孔的铝箔覆盖衬底玻璃，方孔中心对准超薄基板玻璃；使用衬底玻璃固定夹子将铝箔和衬底玻璃固定在衬底玻璃下部的铝板上，由垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，铝板固定在其下部的铝架上。
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