[发明专利]含有聚硅氮烷的涂布组合物有效
| 申请号： | 201110006067.2 | 申请日： | 2011-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102153951A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 林昌伸 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(日本)株式会社 |
| 主分类号： | C09D183/16 | 分类号： | C09D183/16;B05D7/24;B05D3/02;C01B33/113;H01L21/312;H01L21/316 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含有聚硅氮烷的涂布组合物。本发明提供埋设性和涂布性优异，可以形成具有优异膜物性的硅质膜的涂布组合物以及使用该组合物形成硅质膜的方法。一种涂布组合物，该涂布组合物含有全氢聚硅氮烷和溶剂，且前述全氢聚硅氮烷的分子量分布曲线分别在分子量800～2,500的范围和分子量3,000～8,000的范围内具有极大值，重均分子量Mw和数均分子量Mn的比Mw/Mn是6～12。通过将该涂布组合物涂布到具有间隙的基板上，在1000℃以下加热，可以形成埋设到间隙深部的硅质膜。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 聚硅氮烷 组合 | ||
【主权项】：
一种涂布组合物，该涂布组合物含有全氢聚硅氮烷和溶剂，其特征在于：前述全氢聚硅氮烷的分子量分布曲线分别在分子量800～2,500的范围和分子量3,000～8,000的范围内具有极大值，重均分子量Mw和数均分子量Mn的比Mw/Mn是6～12。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
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C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
