[发明专利]一种双路单频激光干涉仪无效
| 申请号： | 201110006415.6 | 申请日： | 2011-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102175141A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 孙利群;吴冠豪;谌雅琴 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种双路单频激光干涉仪，其特征在于：它包括一双频激光头、一偏振分光棱镜和两组相同的单频激光干涉系统；每一组单频激光干涉系统包括两个1/4波片，一个半波片，三个偏振分光棱镜，一个消偏振分光棱镜，两个角反射镜，一个反射镜和四个光电探测器，其中一个角反射镜作为测量镜固定不动，另一角反射镜放置在测量目标上；所述双频激光头发出正交偏振的线偏振光束，经偏振分光棱镜分成两束线偏振光，其中透射的线偏振光入射到第一组单频激光干涉系统中，反射的线偏振光入射到第二组单频激光干涉系统中。本发明可以广泛用于高精度移动台测量定位以及其它高精度长度计量场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双路单频 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种双路单频激光干涉仪，其特征在于：它包括一双频激光头、一偏振分光棱镜和两组相同的单频激光干涉系统；每一组单频激光干涉系统包括两个1/4波片，一个半波片，三个偏振分光棱镜，一个消偏振分光棱镜，两个角反射镜，一个反射镜和四个光电探测器，其中一个角反射镜作为测量镜固定不动，另一角反射镜放置在测量目标上；所述双频激光头发出正交偏振的线偏振光束，经偏振分光棱镜分成两束线偏振光，其中透射的线偏振光入射到第一组单频激光干涉系统中，反射的线偏振光入射到第二组单频激光干涉系统中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110006415.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
