[发明专利]加速度传感器和加速度检测装置

摘要

本发明得到构造简单、能够降低制造成本、且高灵敏度地检测较小的加速度的加速度传感器和加速度检测装置。加速度传感器具有压电传感器(10)和支承基板(4)，压电传感器(10)具有：压电传感器要素(20)；用于在支承基板上支承压电传感器要素的被固定部(14a)和被固定部(14c)；以及将被固定部(14a)和(14c)分别与压电传感器要素连接的第1梁～第4梁(12a～12d)，支承基板具有：支承被固定部(14a)的固定侧的第1基板片(5)；支承被固定部(14c)的可动侧的第2基板片(7)；以及铰链部(8)，压电传感器要素是向与检测轴方向(9)垂直的方向延伸的细长结构，并且，传感器要素的短边方向中心部位于铰链部的短边方向宽度内。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于，该加速度传感器具有压电传感器以及具有支承该压电传感器的第1支承面和第2支承面的支承基板，所述压电传感器具有：压电传感器要素，其生成与检测轴方向的力对应的电信号；第1被固定部和第2被固定部，它们分别固定在所述第1支承面和第2支承面上，以便在所述支承基板上支承所述压电传感器要素；以及第1梁～第4梁，它们将所述第1被固定部和所述第2被固定部分别与所述压电传感器要素连接，所述支承基板具有：固定侧的第1基板片，其具有固定所述第1被固定部的所述第1支承面；可动侧的第2基板片，其具有在该第1支承面的面方向上并列设置且支承所述第2被固定部的所述第2支承面；以及铰链部，其连接所述第1基板片与所述第2基板片的相对的侧端缘之间，使该第2基板片向厚度方向摆动，所述压电传感器要素是向与所述检测轴方向垂直的方向延伸的细长结构，并且，以使该传感器要素的短边方向中心部位于所述铰链部的短边方向宽度内的方式，沿着所述铰链部的长度方向与所述支承面分开配置，所述第1梁连接所述第1被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的一端部，所述第2梁连接所述第1被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的另一端部，所述第3梁连接所述第2被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的一端部，所述第4梁连接所述第2被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的另一端部。