[发明专利]特别是用于用以制造多晶硅的反应器的模块式供电装置

摘要

本发明涉及供电装置，具有中央控制单元和至少一个基本供电单元，控制单元有至少一个调节和控制装置用于调节和/或控制基本供电单元；基本供电单元有至少一个输入端用于给基本供电单元供应电能，和至少一个输出端用于与一组负载连接，负载通过基本供电单元能被供应从供电网络获得的电能，及可控制的开关，开关至少间接地与输入端和输出端连接，通过开关能够调节经由输出端可供给负载的能量，开关能通过控制单元控制；其中控制单元是控制模块，基本供电单元是基本供电模块；控制模块有用于与供电网络连接的输入端用以给控制模块供给电能；供电装置具有通信总线；控制模块和基本供电模块都有接口，它们通过接口与通信总线连接。

主权项

模块式供电装置，特别是用于用以制造多晶硅的反应器，具有中央的控制单元和至少一个基本供电单元，其中，控制单元具有至少一个调节和控制装置，用于调节和/或控制基本供电单元；基本供电单元具有：至少一个输入端，用于给基本供电单元供应电能；至少一个输出端，用于与一组负载连接，这些负载通过基本供电单元能够被供应从供电网络获得的电能，以及可控制的开关，优选为闸流晶体管，这些开关至少间接地与输入端连接和至少间接地与输出端连接，并且，通过这些开关能够调节经由输出端可供给负载的能量，其中，所述开关能够通过控制单元进行控制；其特征在于，控制单元是控制模块，基本供电单元是基本供电模块；控制模块具有用于与供电网络连接的输入端，用以给控制模块供给电能；供电装置具有通信总线；和控制模块和基本供电模块都具有接口，控制模块和基本供电模块通过该接口与通信总线连接。