[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，其能够将层叠于玻璃基板的功能层的一部分从玻璃基板高效地除去。该激光加工装置具有：保持工作台(3)，其对在玻璃基板(11)层叠有太阳电池膜(12)的工件(W)以玻璃基板(11)朝下的方式进行保持；以及激光束照射单元(4)，其对保持于保持工作台(3)的工件(W)照射激光束，保持工作台(3)使工件(W)的至少一部分以能够从激光束照射单元(4)照射激光束的方式向下侧露出，激光束照射单元(4)构成为从工件(W)的玻璃基板(11)侧以聚光点对准玻璃基板(11)与太阳电池膜(12)之间的交界面(46)的方式照射激光束。

主权项

一种激光加工装置，其具有：保持工作台，该保持工作台对在玻璃基板层叠有功能层的工件进行保持；激光束照射单元，该激光束照射单元对保持于所述保持工作台的工件照射激光束；以及移动机构，该移动机构使所述保持工作台与所述激光束照射单元相对移动，所述激光加工装置的特征在于，所述保持工作台具有：工件保持部，该工件保持部具有比工件的外缘要小的上表面，并且该工件保持部从下侧支承工件的玻璃基板；以及工件保持部旋转机构，该工件保持部旋转机构使所述工件保持部以铅直方向为旋转轴旋转，所述激光束照射单元具有：振荡器，该振荡器用于振荡出激光束；聚光透镜，该聚光透镜通过使从所述振荡器振荡出的激光束以聚光点自玻璃基板侧对准玻璃基板与功能层之间的交界面的方式会聚，来使所述功能层从所述玻璃基板剥离并飞散；以及聚光透镜移动机构，该聚光透镜移动机构使所述聚光透镜沿与所述移动机构的移动方向相交的方向移动。