[发明专利]一种GPON模块基本单元和其制造方法无效
| 申请号： | 201110009656.6 | 申请日： | 2011-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102062911A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 万里兮;刘丰满;李宝霞;陈少武 | 申请（专利权）人： | 成都锐华光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 徐宏;吴彦峰 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子器件技术领域，本发明公开了一种GPON基本单元和其制造方法，一种基于半导体晶圆封装技术制作GPON模块基本单元的方法，包括：利用成熟的半导体干法和湿法刻蚀、电镀、键合、转移技术等微电子加工工艺和封装技术，形成GPON模块基本单元。用此种方法制作的GPON模块基本单元较分立器件组合而成的模块制作成本低、可大规模生产，可取代传统的GPON模块应用于光网络中，加工工艺与现有微电子工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gpon 模块 基本 单元 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种GPON基本单元，其特征在于包括硅基光平台（101）、光波导（102）、1310nm波段激光器（103）、反射镜（202）、1490nm波段探测器（104）、背光探测器（105）、分波/合波器（108）、用于光纤固定的V型槽（107）和用于电气连接的金属焊盘（106）；所述1310nm波段激光器（103）、反射镜（202）被埋入硅基光平台（101）中，所述1310nm波段激光器（103）、反射镜（202）、1490nm波段探测器（104）分别与光波导（102）耦合；所述光波导（102）、1310nm波段激光器（103）、反射镜（202）、1490nm波段探测器（104）、背光探测器（105）、分波/合波器（108）、V型槽107和金属焊盘106分别与硅基光平台（101）耦接。
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