[发明专利]三氯硅烷制造装置

摘要

本发明提供一种三氯硅烷制造装置，其能够使反应室内的温度分布均匀并以更高的热效率加热供给气体的同时，在不损失热效率的情况下谋求装置的大型化，并能够实现大量生产。该三氯硅烷制造装置具备自下方被供给所述原料气体而生成反应气体的大致筒状的反应室、设置于所述反应室内并加热所述原料气体的多个加热器、及连接于这些加热器的下端且固定于所述反应室的底板的多个电极，其中，各所述加热器具有固定于一对所述电极的一对非发热部、及安装于这些非发热部并被供给电力进行发热的发热部，所述发热部具备从各所述非发热部向上方延伸并连接所述一对非发热部之间的板状的第1发热体、及高度低于该第1发热体且从所述非发热部向上方延伸并连接所述一对非发热部之间的板状的第2发热体。

主权项

一种由包含四氯化硅和氢气的原料气体制造三氯硅烷的装置，其特征在于，具备：大致筒状的反应室，自下方被供给所述原料气体而生成包含三氯硅烷和氯化氢等的反应气体；多个加热器，设置于所述反应室内并加热所述原料气体；及多个电极，连接于这些加热器的下端且固定于所述反应室的底板，各所述加热器具有：一对非发热部，固定于一对所述电极；及发热部，安装于这些非发热部并被供给电力进行发热，所述发热部具备：第1发热体，为板状且从各所述非发热部向上方延伸并连接所述一对非发热部之间；第2发热体，为板状且高度低于该第1发热体，从各所述非发热部向上方延伸并连接所述一对非发热部之间。