[发明专利]微光刻投射系统

摘要

本发明涉及一种微光刻投射系统，用于将物体平面中的物体投射成像平面中的图像。所述微光刻投射系统包括：第一镜、第二镜、第三镜、第四镜、第五镜、第六镜、第七镜和第八镜，这些镜位于从所述物体平面到所述像平面的光路中，其中所述投射系统具有清楚的出射光瞳，并且其中，所述第一镜、所述第二镜、所述第三镜、所述第四镜、所述第五镜、所述第六镜、所述第七镜、和所述第八镜中的每一个都具有占用空间，并且其中，所有占用空间在与所述投射系统的对称轴平行的方向上可延伸，而不会与所述投射系统的其它镜的任何占用空间互相交叉，且不会与在所述投射系统中从所述物体平面到所述像平面传播的光的光路互相交叉。

主权项

一种微光刻投射系统，用于将物体平面中的物体投射成像平面中的图像，所述微光刻投射系统包括：第一镜(S1)、第二镜(S2)、第三镜(S3)、第四镜(S4)、第五镜(S5)、第六镜(S6)、第七镜(S7)和第八镜(S8)，这些镜位于从所述物体平面到所述像平面的光路中，其中，所述投射系统具有清楚的出射光瞳，并且其中，所述第一镜、所述第二镜、所述第三镜、所述第四镜、所述第五镜、所述第六镜、所述第七镜、和所述第八镜(S1、S2、S3、S4、S5、S6、S7、S8)中的每一个都具有占用空间(B1、B2、B3、B4、B5、B6、B7、B8)，并且其中，所有占用空间在与所述投射系统的对称轴(12)平行的方向上可延伸，而不会与所述投射系统的其它镜的任何占用空间互相交叉，且不会与在所述投射系统中从所述物体平面到所述像平面传播的光的光路互相交叉。