[发明专利]一种用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置

摘要

本发明提供一种用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，包括入射窗片、密封部件、真空腔体、光阴极、栅网、阳极、观察窗片、分子泵、前级干泵、电子聚焦磁透镜、射频电子压缩腔、射频信号发生装置、X方向电子偏转板、Y方向电子偏转板、电子扫描板。本发明既有效抑制空间电荷效应对电子束脉冲纵向脉宽的展宽作用；又减小了由于阳极小孔处电场畸变而造成的电子束发散度增加的问题。本发明产生在横向和纵向都具有超高分辨率的电子脉冲，可实现对分子反应动力学等超快过程的超高时间分辨和空间分辨的实时探测。

主权项

一种用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，其特征在于，包括：入射窗片（1）；真空腔体（3），其与所述入射窗片（1）连通；加速电极（a），所述加速电极（a）固定于所述真空腔体（3）内，由光阴极（4）、栅网（5）、阳极（6）从左至右依次排列构成；所述入射窗片（1）、光阴极（4）、阳极（6）与所述真空腔体（3）同轴设置；观察窗片（7），其设置在所述真空腔体（3）的腔壁（31）上；所述真空腔体（3）的腔壁（31）上还连通设置有分子泵（9），及与所述分子泵（9）连通的前级干泵（10）；真空腔体（12），其与所述真空腔体（3）同轴连通；射频电子压缩腔（15），其两端分别与真空腔体（12、17）同轴连通；成对的X电子偏转板（18）、成对的Y电子偏转板（19）、成对的电子扫描板（20），从左至右依次固定于所述真空腔体（17）内，且与所述真空腔体（17）同轴设置；电子聚焦磁透镜（13），其同轴套接在所述真空腔体（12）外，可沿所述真空腔体（12）轴向移动；射频信号发生装置（21），其与所述射频电子压缩腔（15）连接；所述入射窗片（1）与所述真空腔体（3）之间，所述真空腔体（3）与所述分子泵（9）之间，所述真空腔体（3）与所述真空腔体（12）之间，所述真空腔体（12）与所述射频电子压缩腔（15）之间，所述射频电子压缩腔（15）与所述真空腔体（17）之间分别通过密封部件（2、8、11、14、16）连接。