[发明专利]一种热压贴敷机构有效
| 申请号： | 201110022572.6 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102135672A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈华轩;景建平;唐志稳;朱晓伟 | 申请（专利权）人： | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H01L21/603 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215121 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种热压贴敷机构，其特征在于：包括支撑架、上压着气缸、下支撑气缸、中间平衡板以及热压头，所述支撑架主要由上支撑梁、下支撑梁以及连接在上支撑梁和下支撑梁之间的两竖向立柱构成；所述中间平衡板平行设置于上支撑梁和下支撑梁之间；所述上压着气缸由上支撑梁上向下设置，其活塞杆作用端对准中间平衡板的顶面，所述下支撑气缸由下支撑梁上向上设置，其活塞杆作用端对准中间平衡板的底面；所述热压头设置于支撑架下方，其经支架与中间平衡板固定连接。本发明以下支撑气缸的支撑抵消中间平衡板及连接在中间平衡板上的热压头的自重，使上压着气缸可以精确地施压；且下支撑气缸提供了一缓冲作用，最大限度地避免了冲击的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热压 机构 | ||
【主权项】：
一种热压贴敷机构，其特征在于：包括支撑架（1）、上压着气缸（2）、下支撑气缸（3）、中间平衡板（4）、热压头（5）以及台面（28），所述支撑架（1）主要由上支撑梁（6）、下支撑梁（7）以及连接在上支撑梁（6）和下支撑梁（7）之间的两竖向立柱（8）构成；所述中间平衡板（4）平行设置于上支撑梁（6）和下支撑梁（7）之间，且相对支撑架（1）在上下方向上滑动连接；所述上压着气缸（2）由上支撑梁（6）上向下设置，其活塞杆作用端（9）对准中间平衡板（4）的顶面，所述下支撑气缸（3）由下支撑梁（7）上向上设置，其活塞杆作用端（10）对准中间平衡板（4）的底面；所述热压头（5）设置于支撑架（1）下方，其经支架（11）与中间平衡板（4）固定连接，且热压头（5）上设置有加热装置；所述台面（28）对应于热压头（5）设置于热压头（5）的下方。
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