[发明专利]滑动部件及其表面加工方法有效
| 申请号： | 201110022711.5 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102140640A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 佐藤明伸;铃木晃子;河野健司 | 申请（专利权）人： | 日本航空电子工业株式会社 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及滑动部件及其表面加工方法。所述滑动部件具有周期10nm～100nm、深度5nm～50nm的第一周期结构，周期100nm～1000nm、深度20nm～500nm的第二周期结构和周期1000nm～10000nm、深度100nm～3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构作为表面结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在其它周期结构上。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 部件 及其 表面 加工 方法 | ||
【主权项】：
滑动部件，其具有周期10nm～100nm、深度5nm～50nm的第一周期结构，周期100nm～1000nm、深度20nm～500nm的第二周期结构，和周期1000nm～10000nm、深度100nm～3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构作为表面结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
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