[发明专利]波像差测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201110023589.3 | 申请日： | 2011-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN102608870A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 陆海亮;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种波像差测量装置及其测量方法，照明系统产生照明光束；物面小孔包括至少两个物面小孔标记，所述至少两个物面小孔标记沿第一方向排列，所述物面小孔标记包括两个物面小孔子标记，所述两个物面小孔子标记沿第二方向排列，第一方向和第二方向垂直，所述两个物面小孔子标记的光栅方向分别沿X方向和沿Y方向，所述照明光束照射到所述物面小孔形成测量光束；所述测量光束通过投影物镜后入射到像面剪切光栅，形成剪切干涉图案；多次改变所述物面小孔和所述像面剪切光栅的相对位置，二维阵列光敏元件获得两个方向上的多个剪切干涉图案以计算投影物镜的波像差。所述波像差测量装置及其测量方法能够测量多视场点波像差，实现光刻装置多视场点波像差的并行测量，测量速度快，实时性高。 | ||
| 搜索关键词： | 波像差 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种波像差测量装置，其特征在于，包括：照明系统，产生照明光束；物面小孔，包括至少两个物面小孔标记，所述至少两个物面小孔标记沿第一方向排列，所述物面小孔标记包括两个物面小孔子标记，所述两个物面小孔子标记沿第二方向排列，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述两个物面小孔子标记的光栅方向分别沿X方向和沿Y方向，所述照明光束照射到所述物面小孔形成测量光束；投影物镜；像面剪切光栅，所述测量光束通过所述投影物镜后入射到所述像面剪切光栅，形成剪切干涉图案；二维阵列光敏元件，用于接收所述剪切干涉图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110023589.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电荷泵及电荷泵系统
- 下一篇：一种应用于窗帘压扣的控制器
