[发明专利]激光切片装置

摘要

一种激光切片装置，具有良好的切断特性、并且即使改变切片速度也实现稳定的切片加工。激光切片装置具备台、基准时钟振荡电路、射出脉冲激光束的激光振荡器、使脉冲激光束同步于时钟信号的激光振荡器控制部、切换脉冲激光束向被加工基板的照射和不照射的脉冲选择器、同步于时钟信号而以光脉冲单位控制脉冲激光束的通过和截断的脉冲选择器控制部、存储记述有与被加工基板和脉冲激光束的标准的相对速度对应的切片加工数据的加工表的加工表部、输入相对速度的新的设定值的速度输入部、以及运算新的加工表并向加工表部存储的运算部，基于新的加工表，脉冲选择器控制部控制脉冲激光束的通过和截断。

主权项

一种激光切片装置，其特征在于，具备：台，可载置被加工基板；基准时钟振荡电路，产生时钟信号；激光振荡器，射出脉冲激光束；激光振荡器控制部，使上述脉冲激光束与上述时钟信号同步；脉冲选择器，设在上述激光振荡器与上述台之间的光路中，切换上述脉冲激光束向上述被加工基板的照射和不照射；脉冲选择器控制部，与上述时钟信号同步，以光脉冲单位控制上述脉冲激光束在上述脉冲选择器中的通过和截断；加工表部，存储有加工表，该加工表以上述脉冲激光束的光脉冲数记述有与上述被加工基板和上述脉冲激光束的标准的相对速度相对应的切片加工数据；速度输入部，输入上述被加工基板与上述脉冲激光束的相对速度的设定值；以及运算部，基于上述设定值和上述加工表，运算与上述设定值对应的新的加工表并向上述加工表部存储；基于上述新的加工表，上述脉冲选择器控制部控制上述脉冲激光束在上述脉冲选择器中的通过和截断。