[发明专利]一种硅基单片集成声纳基阵无效
| 申请号： | 201110024893.X | 申请日： | 2011-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN102176006A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 张文栋;薛晨阳;张国军;关凌纲;熊继军;刘细宝;王晓瑶;许姣 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01S7/52 | 分类号： | G01S7/52;G01S7/521 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基单片集成声纳基阵，包括悬臂梁式敏感阵列结构、透声护套、支撑结构；悬臂梁式敏感结构阵列结构固定在支撑结构上；悬臂梁式敏感结构阵列结构设置在透声护套内，并固定，透声护套内注入绝缘介质油，悬臂梁式敏感阵列结构浸润在绝缘介质油；密封并且透声护套整体做水密处理。该基阵可以用于水下超声成像或者超声测距、鱼雷的声自导等装置上，该探测基阵通过MEMS技术在单个硅片上集成多个水听器组阵，既可以解决一致性问题还能很大程度的缩小基阵尺寸，采用刚性连接，易于在船上装配，而且批量化制造的成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 集成 声纳 | ||
【主权项】：
一种硅基单片集成声纳基阵，其特征在于，包括悬臂梁式敏感阵列结构、透声护套、支撑结构；悬臂梁式敏感结构阵列结构固定在支撑结构上；悬臂梁式敏感结构阵列结构设置在透声护套内，并固定，透声护套内注入绝缘介质油，悬臂梁式敏感阵列结构浸润在绝缘介质油；密封并且透声护套整体做水密处理。
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