[发明专利]恒定浓度蒸发的方法以及使用该方法的设备

摘要

恒定浓度蒸发的方法以及使用该方法的设备。本发明揭示了一种设备，该设备包括蒸发器和热交换器；所述热交换器和所述蒸发器流体连通；所述蒸发器包括外壳和设置在该外壳内的内缸；所述内缸与板(plate)接触；其中所述内缸围住第一导管和第二导管，所述第一导管用于向蒸发器中引入载气流体，所述第二导管用于除去带有前体的载气流体；其中所述外壳可分离地连接到所述板；所述板接触第一前体导管，所述第一前体导管用于将前体从热交换器引入到蒸发器中；其中所述热交换器设置为邻近蒸发器，热交换器与蒸发器的距离使得当热交换器和蒸发器周围的环境温度在高达约±35℃的量波动时能有效将蒸发器中的前体保持在基本恒定的温度。

主权项

一种设备，该设备包括蒸发器；和热交换器；所述热交换器和所述蒸发器流体连通；所述蒸发器包括：外壳；和设置在该外壳内的内缸；所述内缸与板接触；其中所述内缸围住：第一导管，所述第一导管用于向蒸发器中引入载气流体；和第二导管，所述第二导管用于除去带有前体的载气流体；其中所述外壳可分离地连接到所述板；所述板接触第一前体导管，所述第一前体导管用于将前体从热交换器引入到蒸发器中；其中所述热交换器设置为邻近蒸发器，热交换器与蒸发器的距离使得当热交换器和蒸发器周围的环境温度在最高达约±35℃波动时能有效将蒸发器中的前体保持在基本恒定的温度。