[发明专利]一种电子回旋共振离子源无效
| 申请号： | 201110026605.4 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102117727A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 彭士香;袁忠喜;任海涛;吕鹏南;郭之虞 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/38 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子回旋共振离子源，尤其是一种能直接观察离子源内放电过程的新型结构全永磁强流电子回旋共振(ECR)离子源。本发明采用了透光性高的石英玻璃来做放电室；石英玻璃造成的微波泄露可通过石英玻璃外部的带有窗口的特殊结构金属壳体来屏蔽；电子回旋需要的磁场用多个分离的永磁环来产生，环与环之间有多个空隙。这样，穿过屏蔽壳体的窗口、永磁环间空隙、透光的石英玻璃，可以从多个角度、多个位置无干扰地实时观察放电室内所发生的所有过程和等离子体的各种形态，可以无干扰地开展等离子体光谱学诊断研究工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 回旋 共振 离子源 | ||
【主权项】：
一种电子回旋共振离子源，包括微波系统(1)，微波窗(3)，放电室(4)、磁体、引出系统(5)、冷却水(2)、进气管(6)，其特征在于，所述放电室(4)为透明的石英玻璃制成，放电室(4)安装在微波屏蔽壳体(8)内，所述壳体(8)上开有多个观察窗(9)。
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