[发明专利]制备有机金属化合物的方法无效
| 申请号： | 201110027558.5 | 申请日： | 2011-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN102153569A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | F·J·利派克;D·V·谢奈-卡特哈特;S·G·马罗尔多;R·A·韦尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯公司 |
| 主分类号： | C07F3/06 | 分类号： | C07F3/06;C07F5/00;C07F7/02;C07F7/30;C07F7/00;C07F9/28;C07F9/70;C07F9/90;C07F9/94;C07F9/00;C07F11/00;C07F15/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 樊云飞;周承泽 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种制备超高纯度金属脒基化合物的方法，该方法包括使用微通道装置进行合成，使得金属卤化物溶液与脒基锂溶液反应，制得超高纯度的烷基金属化合物，用于化学气相沉积之类的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 有机 金属 化合物 方法 | ||
【主权项】：
一种用来制备具有超高纯度的有机金属金属烷基化合物的方法，该方法包括：在微通道装置中使得金属卤化物溶液与烷基金属溶液反应，制得金属烷基化合物，其中，制得的化合物具有化学气相沉积工艺所需的最低纯度。
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