[发明专利]特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法

摘要

一种金刚石涂层技术领域的特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法，采用热丝化学气相沉积法在拉拔模的內孔表面依次进行直流正向偏流沉积、直流反向偏流沉积、直流还原沉积和优化沉积处理，得到特大孔径内孔金刚石平坦化涂层。本发明用三相整流的直流电源来替代单相交流电源，从而解決了大功率供电的三相平衡问题，同时既能保证金刚石涂层的质量，又能提高涂层的表面平整度，减少涂层抛光工作量，提高涂层模具的合格率和可靠性。

主权项

一种特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法，其特征在于，采用热丝化学气相沉积法在拉拔模的內孔表面依次进行直流正向偏流沉积、直流反向偏流沉积、直流还原沉积和优化沉积处理，得到特大孔径内孔金刚石平坦化涂层。