[发明专利]连续扩散处理装置

摘要

本发明提供一种连续扩散处理装置，能够连续进行被处理件的扩散处理，并且能够防止加热炉因与被处理件的大小无关的因素而大型化。所述连续扩散处理装置包括：输送台(50)，装载多张板状的被处理件；筒状的加热炉(1)，以直线状延伸；输送装置(2)，向加热炉(1)内依次送入输送台(50)，并将在加热炉(1)内输送的输送台(50)依次送出；加热装置(3)，对输送台(50)上装载的被处理件进行加热；供气装置(41)，向加热炉(1)内提供用于扩散处理的气体。输送装置(2)通过推动位于送入部(11)的上游的输送台(50)，将该输送台(50)送入加热炉内(1)的同时，利用该送入的输送台(50)将先送入的输送台(50)向送出部(12)推动，在加热炉(1)内成列输送。

主权项

一种连续扩散处理装置，其特征在于包括：输送台，装载多张板状的被处理件；筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；以及供气装置，向所述加热炉内提供用于扩散处理的气体，所述输送装置具有压力驱动部，所述压力驱动部通过推动位于所述送入部的上游的所述输送台，将所述输送台依次送入所述加热炉内，并且，通过所述送入的输送台将先送入的输送台向所述送出部推动，在所述加热炉内成列地输送。