[发明专利]激光退火设备中的光学处理装置无效
| 申请号： | 201110030445.0 | 申请日： | 2011-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN102081236A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 黄威;尉昊赟;李岩 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京金恒联合知识产权代理事务所 11324 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于激光退火设备中光学处理装置的研制，该装置也可应用于其他相关领域。其特征在于，有两个可替换组件和一个可变光阑相结合，每个组件都有多套系统可供选用，且第一可替换组件和可变光阑可通过计算机统一控制。通过替换两个组件和对第一可替换组件中透镜位置以及可变光阑的调节，用户可以自主选择光斑的形状为矩形或正方形，并对它们的大小在较大范围内进行分档及连续调节，提高了生产效率，也提高了整个系统的稳定性和易用性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 退火 设备 中的 光学 处理 装置 | ||
【主权项】：
用于激光退火的光学处理装置，其特征在于包括：扩束系统，用于对来自一个光源(101)的激光光束进行扩束；匀化系统，用于使所述扩束系统输出的光束能量均匀；边缘处理系统，用于得到所需的边缘锐利的光斑；投影系统，用于将匀化的光斑投射到加工面(108)。
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