[发明专利]光刻用洗涤液以及配线形成方法有效
| 申请号： | 201110033927.1 | 申请日： | 2011-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN102169296A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 大桥卓矢;高滨昌;江藤崇弘;森大二郎;横井滋 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D7/32;C11D7/50;C11D7/60;C11D7/26;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;倪小敏 |
| 地址： | 日本神奈川县川*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻用洗涤液、以及一种使用该光刻用洗涤液的配线形成方法，该光刻用洗涤液对ILD材料的防腐效果优异，并且对光刻胶膜以及下层防反射膜的除去性能优异。本发明的光刻用洗涤液含有季铵氢氧化物、水溶性有机溶剂、水、和无机碱。水溶性有机溶剂含有偶极矩为3.0D以上的高极性溶剂、乙二醇醚类溶剂、和多元醇，相对于总量，上述高极性溶剂和乙二醇醚类溶剂的总含量为30质量％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 洗涤液 以及 线形 成方 | ||
【主权项】：
一种光刻用洗涤液，其含有季铵氢氧化物、水溶性有机溶剂、水、和无机碱；所述水溶性有机溶剂含有偶极矩为3.0D以上的高极性溶剂、乙二醇醚类溶剂、和多元醇；相对于总量，所述高极性溶剂和所述乙二醇醚类溶剂的总含量为30质量％以上。
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