[发明专利]增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器

摘要

本发明公开了一种增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器。包括压电薄膜谐振器、紫外光反射膜和透明导电膜。探测器以高频体声波作为谐振模式，利用紫外光反射膜和透明导电膜增强了压电薄膜对紫外光的吸收，提高了探测器的灵敏度；使用掺杂的氧化锌材料作为压电薄膜层，可以根据所需测量的紫外光中心波长调整镁的掺杂浓度，其敏感范围覆盖低紫外至深紫外的较宽光谱区间；采用布拉格反射层结构，机械牢度高，抗冲击力强。可以应用于航天工程、火焰探测、生物效应、物联网以及环境监测等民用、军用领域。

主权项

一种增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器，包括压电薄膜谐振器、紫外光反射膜和透明导电膜，其特征在于，具有紫外光反射膜(4)和作为上电极的透明导电膜(6)，从下向上依次设置基底(1)、声波布拉格反射层(2)、金属下电极(3)、紫外光反射膜(4)、压电薄膜(5)和透明导电膜(6)。