[发明专利]托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法有效
| 申请号： | 201110035701.5 | 申请日： | 2011-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102190156A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 松井雅浩 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/677;H01L21/683;B65D85/30 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法，即使在移动载置基板时将基板向托盘移动载置的基板移动载置机构的精度低的情况下，也能够使托盘始终稳定地保持基板，能抑制在输送基板时基板自托盘偏移、破损、脱落的产生。在本发明的一实施方式中，在基板(102)被装载在第一托盘(106)上时加压机构对基板(102)施加压力，成为第一托盘(106)保持基板(102)的状态，将该第一托盘(106)安装到第二托盘(107)上，输送机构以第二托盘(107)倾斜的姿势输送到处理室(109)。在处理室(109)中，在减压状态下导入气体，使薄膜堆积在基板(102)上。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 式基板 输送 系统 方法 电子 装置 制造 | ||
【主权项】：
一种托盘式基板输送系统，是使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，其特征在于，包括：第一托盘，能够装载上述基板；加压机构，在上述基板被装载在上述第一托盘上时通过对该基板的端面施加压力而将该基板保持在上述第一托盘上；第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸；输送机构，在从水平地配置被装载在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，输送安装有上述第一托盘的上述第二托盘。
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