[发明专利]内连线结构及使用该结构的装置、线路结构与方法

摘要

内连线结构及使用该结构的装置、线路结构与方法。本发明公开了一内连线(Interconnection)结构。该内连线结构置于实际上相互平行的一第一导电层与一第二导电层之间，其中所述导电层包括一信号线。该内连线结构包括一导电柱以及一遮蔽墙柱。该导电柱穿行于所述第一导电层与第二导电层之间，而导电柱连接第一导电层的信号线。遮蔽墙柱设置于第一导电层与第二导电层之间，该遮蔽墙柱围绕导电柱外围的局部区域，并且电性耦合到导电柱。该导电柱以及遮蔽墙柱为成对或成组式架构。该不同于导电柱形状的遮蔽墙柱，将依其特殊形状设计将使得该导电柱成为具备阻抗设计及控制能力的连线。

主权项

一种内连线结构，其特征在于，设置于第一导电层与第二导电层之间，其中该第一导电层与该第二导电相互平行，该第一导电层与该第二导电层分别包括一第一信号线与一第二信号线，该内连线结构包括：一导电柱，穿行于该第一导电层与第二导电层之间，该导电柱电性连接到该第一信号线与该第二信号线；以及一遮蔽墙柱，设置于该第一导电层与第二导电层之间，并电性连接到一参考导线，其中，该遮蔽墙围绕该导电柱位于该第一导电层与该第二导电层之间外围的局部区域，并且电性耦合到该导电柱。