[发明专利]表面发射激光器阵列、光学扫描装置及图像形成装置

摘要

一种表面发射激光器阵列包括多个表面发射激光器元件(1)。每个表面发射激光器元件包括：第一反射层(102)，形成于基板(101)上；共振器腔(103，104，105)，形成为接触第一反射层并包含有源层(104)；以及第二反射层(106，107)，形成于第一反射层上方并接触共振器腔。第二反射层包含选择性氧化层(107)。第一反射层在有源层侧至少包含低折射率层(1021)，该低折射率层由例如AlAs制成且氧化速率相当于或高于包含在第二反射层内的选择性氧化层(107)的氧化速率。共振器腔是由至少包含In的AlGaInPAs基材料制成。台结构的底部位于选择性氧化层下方和第一反射层上方。

主权项

一种表面发射激光器阵列，包括，元件布置部，设置在基板上并布置有多个表面发射激光器元件，平坦部，设置在所述基板上并沿所述基板的表面内方向设置在所述元件布置部的周围，所述多个表面发射激光器元件的每一个包括发射激光束的台结构，所述平坦部和所述元件布置部包括：吸收在形成所述台结构时沿所述表面内方向的蚀刻深度差异的吸收层，所述台结构的底面沿与所述基板垂直的方向位于所述吸收层中。