[发明专利]一种多晶硅碳头料分离腐蚀液及分离方法无效
| 申请号： | 201110037127.7 | 申请日： | 2011-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102121106A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 王体虎;蔡延国;姚明辉;阮万魁;施正荣 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;C01B33/021 |
| 代理公司： | 西宁金语专利代理事务所 63101 | 代理人： | 哈庆华 |
| 地址： | 810007 青海省西宁市*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 一种多晶硅碳头料分离腐蚀液及分离方法。本发明涉及一种多晶硅碳头料的分离腐蚀液及分离方法，应用于处理气相沉积法生产的碳头料的分离方法及分离腐蚀液的制备。分离腐蚀液的特点是在其组分中按重量份含有：高纯硫酸溶液55～97，高锰酸钾2～30，钠盐1～15。分离方法的特点是含有以下步骤：一、将高纯硫酸溶液55～97重量份，高锰酸钾2～30重量份，钠盐1～15重量份混合、搅拌，形成混合液；二、取碳头料投入此混合液中浸泡1.5h～16h；三、取出碳头料、洗净后用重量比为硝酸：氢氟酸=5:1的洗涤液清洗其表面，时间为：1～3min；四、将处理后的料用纯水超声波清洗30min，烘干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅碳头料 分离 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅碳头料分离腐蚀液，其特征在于在其组分中按重量份含有：高纯硫酸溶液55～97，高锰酸钾2～30，钠盐1～15。
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