[发明专利]超低压力降流动感测器

摘要

一种流体速度感测器包括用于检测流体流经由流动通道壁限制的低阻流动通道时的流体特性的感测器模片。一个或多个分接头被安置在面向流体流动的方向，流体流经由通道壁限制的流动通道，其中该分接头通向低阻力通道，该低阻力通道引导流体到达感测器模片。至少一个或多个其它的分接头被安置面向垂直于流体流动的方向，这样在流体流经感测器模片后可以继续在低阻力通道中流动直到到达其他垂直面向流体流动方向的分接头，以便测定基于不同压力之间的差别的速度压力。该流体速度感测器可以安置在单向或双向的流体流动结构中。

主权项

一种用于检测经过流体通路的流体流动的流体速度感测器，包括：延伸到流体通路中的壳体，该壳体限定内部流动通道；暴露于所述壳体的所述内部流动通道的MEMS流动感测器，该MEMS流动感测器被构造成检测流经壳体的所述内部流动通道的流体的流率；以及形成于所述壳体中并且暴露于流经流体通路的流体的至少一个上游分接头，其中所述至少一个上游分接头通向所述壳体中的所述内部流动通道，该内部流动通道将所述流体的流动引导到所述MEMS流动感测器，使得所述流体在经过所述MEMS流动感测器之后继续在低阻力路径上流动到达至少一个下游分接头，所述至少一个下游分接头在一个或多个所述上游分接头的下游形成于所述壳体中并且暴露于流经流体通路的流体。