[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法有效

专利信息
申请号: 201110039006.6 申请日: 2011-02-15
公开(公告)号: CN102162996A 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 藤田充 申请(专利权)人: 旭化成电子材料株式会社
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/00;H01L21/027
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供负型感光性树脂组合物、以及固化浮雕图案的制造方法,所述负型感光性树脂组合物在低温固化后能够形成与基板的粘接性优异的固化膜。负型感光性树脂组合物含有:100质量份(A)特定结构的聚酰亚胺前体;1~20质量份(B)光聚合引发剂;以及0.01~10质量份(C)具有1个以上选自由羟基、醚基和酯基组成的组中的官能团的碳数2~30的单羧酸化合物。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 固化 浮雕 图案 制造 方法
【主权项】:
1.一种负型感光性树脂组合物,其含有下述物质:100质量份(A)具有下述通式(1)所示的结构的聚酰亚胺前体,[化学式1]式中,X1为4价有机基团,Y1为2价有机基团,n为2~150的整数,R1和R2各自独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的1价有机基团、或碳数1~4的饱和脂肪族基团,其中,R1和R2这两者不同时为氢原子,[化学式2]式中,R3、R4和R5各自独立地为氢原子或碳数1~3的有机基团,且m为2~10的整数;1~20质量份(B)光聚合引发剂;以及0.01~10质量份(C)具有1个以上选自由羟基、醚基和酯基组成的组中的官能团的碳数2~30的单羧酸化合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成电子材料株式会社,未经旭化成电子材料株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110039006.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top