[发明专利]气浮式大口径平面光学元件抛光夹具有效

专利信息
申请号: 201110039303.0 申请日: 2011-02-16
公开(公告)号: CN102172868A 公开(公告)日: 2011-09-07
发明(设计)人: 郭隐彪;潘日;王振忠;谢瑞清;姜涛 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: B24B13/005 分类号: B24B13/005
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 气浮式大口径平面光学元件抛光夹具,涉及一种抛光夹具。提供一种可实现对大口径光学元件抛光过程中工件的装夹,并且使工件各处所受压力均匀分布的气浮式大口径平面光学元件抛光夹具。设有连接轴、底座、密封筒、气囊、气垫、橡胶薄膜、4个夹爪以及压力控制装置;连接轴一端与底座上表面连接,连接轴另一端外接机床抛光旋转轴,底座下表面连接密封筒,气囊、气垫和橡胶薄膜从上至下依次设在密封筒内,气囊上表面进气口经设于底座上的通气孔连接压力控制装置,气囊下表面与气垫上表面紧贴,底座上设有4个夹爪固定槽,4个夹爪分别固定在4个夹爪固定槽内,每个夹爪固定槽上设有至少2个用于装卸夹爪或使夹爪定位工件的螺纹孔。
搜索关键词: 气浮式大 口径 平面 光学 元件 抛光 夹具
【主权项】:
气浮式大口径平面光学元件抛光夹具,其特征在于设有连接轴、底座、密封筒、气囊、气垫、橡胶薄膜、4个夹爪以及压力控制装置;连接轴一端与底座上表面连接,连接轴另一端外接机床抛光旋转轴,底座下表面连接密封筒,气囊、气垫和橡胶薄膜从上至下依次设在密封筒内,气囊上表面进气口经设于底座上的通气孔连接压力控制装置,气囊下表面与气垫上表面紧贴,底座上设有4个夹爪固定槽,4个夹爪分别固定在4个夹爪固定槽内,每个夹爪固定槽上设有至少2个用于装卸夹爪或使夹爪定位工件的螺纹孔。
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