[发明专利]激光加工装置

摘要

提供一种用于使从激光加工装置输出的脉冲光的功率稳定的技术。激光加工装置(100)具有：光放大光纤(1、8)，其利用激发光来放大种子光；种子LD(2)，其用于发生脉冲状的种子光；激发LD(3、9A、9B)，其用于发生激发光。激光加工装置(100)基于与从激光加工装置输出的激光相关的条件，能够改变不发生种子光的非发光期间内的激发光的条件。控制装置(20)通过控制驱动器(22、23A、23B)来改变非发光期间内的激发光的条件。由此，不管非发光期间多长，都能够使从激光加工装置输出的脉冲光的能量稳定。

主权项

一种激光加工装置，输出用于被加工物的加工的激光，其特征在于，具有：种子光源，其用于发生脉冲状的种子光，激发光源，其用于发生激发光，光放大光纤，其用于引导上述种子光和上述激发光，利用上述激发光来放大上述种子光，并放出在放大中不使用的上述激发光，存储部，其用于预先存储上述激发光的控制条件，控制部，其按照在上述存储部中存储的上述控制条件，对上述激发光源进行控制；检测器，其用于检测从上述光放大光纤输出的上述激发光的强度，修正部，其用于修正在上述存储部中存储的上述控制条件；以及上述修正部使上述检测器的检测结果在上述控制条件的修正中得以反映，上述控制条件包括预先决定的如下条件，该条件是指，在不发生上述种子光的非发光期间，能够使上述激发光源发生具有实质上与上述光放大光纤放出的能量相等的能量的激发光，上述检测结果基于已从上述光放大光纤输出的上述激发光的强度。