[发明专利]盐和含有该盐的光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201110039458.4 | 申请日： | 2011-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102167677A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;坂本宏 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C25/18;C07C309/17;C07D303/16;C07D305/06;C07D307/12;C07D309/06;C07D407/04;C07D493/04;C07D333/46;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柳春琦 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供盐和含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐是由式(I)表示的盐，其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，并且其中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，R3表示具有环醚结构的基团，并且Z1+表示有机阳离子。 |
||
| 搜索关键词： | 含有 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种由式(I)表示的盐：![]()
其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，并且其中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，R3表示具有环醚结构的基团，并且Z1+表示有机阳离子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110039458.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：小星体着陆器附着机构
- 下一篇：热敏记录体及其制造方法
