[发明专利]氮化物半导体发光器件有效
申请号: | 201110041101.X | 申请日: | 2006-10-08 |
公开(公告)号: | CN102136673A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 神川刚;川口佳伸 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01S5/028 | 分类号: | H01S5/028;H01S5/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种氮化物半导体发光器件。该氮化物半导体发光器件,包括:III-V族氮化物半导体层;设置在III-V族氮化物半导体层中的腔;以及在腔的端面上形成的端面涂覆膜;其中,端面涂敷膜具有在其面对腔的端面的一侧上的氧化铝层,设置在端面涂覆膜和腔的端面之间的由氮化铝形成的隔离层;以及隔离层具有1nm以上且20nm以下的厚度。 | ||
搜索关键词: | 氮化物 半导体 发光 器件 | ||
【主权项】:
一种氮化物半导体发光器件,包括:氮化物半导体层;设置在所述氮化物半导体层中的腔;与所述腔的端面接触的氮化物隔离层;以及与所述隔离层接触的端面涂覆膜;其中,所述端面涂敷膜是氧化物,在部分的所述隔离层中,形成有所述端面涂覆膜和所述隔离层互扩散的区域。
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