[发明专利]双面钝化高效硅太阳电池及工艺流程

摘要

本发明公开了一种双面钝化的高效太阳电池和工艺方案，主要是由太阳电池的硅片经过制绒清洗、扩散工艺、刻蚀工艺，去磷硅玻璃，制作减反膜，丝网印刷电极、然后烧结的工艺后成为太阳电池，在制作迎光面减反射膜后，增加了一道硅片背面制作氧化铝薄膜钝化层的工序，本发明可以显著提高太阳电池的光电转换效率，成本略有提高，但收益要远远高于投入。

主权项

一种双面钝化高效硅太阳电池，包括有太阳电池硅片、正面电极和背面电极，其特征在于：所述的太阳电池硅片的迎光面设有减反射薄层，背面沉积有氧化铝钝化层，氧化铝钝化层上沉积有铝薄膜，所述的正面电极和背面电极分别设置于太阳电池硅的迎光面与背面。