[发明专利]紫外激光干涉灼蚀有机半导体激光器直写方法有效
申请号: | 201110043161.5 | 申请日: | 2011-02-23 |
公开(公告)号: | CN102649196A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 张新平;翟天瑞 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;B23K26/36;B23K101/40 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 沈波 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了紫外激光干涉灼蚀有机半导体激光器直写方法,属于纳米光电子材料及器件技术领域,包括以下步骤:1)制备荧光发射有机半导体材料有机溶液;2)将荧光发射有机半导体溶液旋涂在基底上,获得厚度均匀的有机半导体薄膜,薄膜的厚度为50-500nm;3)将强紫外激光干涉图案与有机半导体薄膜作用,使得干涉亮条纹区的有机半导体薄膜在瞬间被灼蚀掉,而留下未曝光区。本发明成本低廉,可制备大面积一维、二维有机半导体激光器,重复性好,制备效率高,周期可控。 | ||
搜索关键词: | 紫外 激光 干涉 有机半导体 激光器 方法 | ||
【主权项】:
紫外激光干涉灼蚀有机半导体激光器直写方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将荧光发射有机半导体材料溶解于有机溶剂中,制成浓度为10‑60mg/ml的有机半导体溶液;2)将荧光发射有机半导体溶液旋涂在基底上,旋涂速度为500‑4000rpm,获得厚度均匀的有机半导体薄膜,薄膜的厚度为50‑500nm;3)将强紫外激光干涉图案与有机半导体薄膜作用,使得干涉亮条纹区的有机半导体薄膜在瞬间被灼蚀掉,而留下未曝光区,形成高质量的有机半导体光栅结构。
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