[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201110043340.9 | 申请日： | 2011-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102189340A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 远藤智裕;星野仁志;大庭龙吾;福冈武臣;秋田壮一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/04;B23K26/42;H01L21/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光加工装置，其能够在不移动聚光透镜的情况下进行调整以使激光光线的光轴通过聚光透镜的中心。在从振荡器(42)发出的激光光线(L)分别在Y方向调整镜(43)、X方向调整镜(44)、角度调整镜(45)反射并被导向聚光透镜(47)的结构中，将Y方向调整镜(43)设成能够在Y方向移动，将X方向调整镜(44)设成能够在X方向移动，使这些调整镜(43、44)移动并根据需要来调整角度调整镜(45)对激光光线(L)的反射角度，从而进行使激光光线(L)的光轴通过聚光透镜(47)的中心的调整。通过使激光光线(L)的光轴移动，能够在不移动聚光透镜(47)的情况下使激光光线(L)的光轴通过聚光透镜(47)的中心。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其具有：保持机构，该保持机构用于保持工件；激光照射机构，该激光照射机构对保持于所述保持机构的工件照射激光光线从而实施激光加工；以及加工进给机构，该加工进给机构使所述保持机构与所述激光照射机构沿加工进给方向相对地移动，所述激光加工装置的特征在于，所述激光照射机构具备：振荡器，该振荡器用于发出激光光线；聚光透镜，该聚光透镜使从所述振荡器发出的激光光线向保持于所述保持机构的工件会聚；以及光轴调整构件，该光轴调整构件对照射在所述工件的表面的激光光线的照射位置和照射角度进行调整，所述光轴调整构件具备：加工进给方向调整镜，该加工进给方向调整镜用于调整激光光线的所述照射位置中的所述加工进给方向的位置；加工进给方向移动部，该加工进给方向移动部使所述加工进给方向调整镜直线移动；分度进给方向调整镜，该分度进给方向调整镜用于调整激光光线的所述照射位置中的与所述加工进给方向正交的分度进给方向的位置；分度进给方向移动部，该分度进给方向移动部使所述分度进给方向调整镜直线移动；角度调整镜，该角度调整镜用于调整激光光线的所述照射角度；以及旋转移动部，该旋转移动部使所述角度调整镜旋转移动。
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