[发明专利]可移动反射镜的支撑结构、减小可移动反射镜的倾斜的方法以及干涉仪无效

专利信息
申请号: 201110046045.9 申请日: 2011-02-25
公开(公告)号: CN102169230A 公开(公告)日: 2011-08-31
发明(设计)人: J·考皮宁 申请(专利权)人: 伽泽拉有限公司
主分类号: G02B26/06 分类号: G02B26/06;G02B26/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 王初
地址: 芬兰*** 国省代码: 芬兰;FI
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摘要: 发明涉及一种用于干涉仪的可移动反射镜的支撑结构,支撑结构包括:固定框架(11);可移动框架(12),对于其可移动反射镜(42)布置成可连结的;及至少两个柔性部件(13),所述部件(13)的第一端部紧固到固定框架(11)上,并且所述部件(13)的第二端部紧固到可移动框架(12)上,使得在每个柔性部件(13)的固定点之间的距离基本上相同,并且在第一端部的固定点之间的距离基本上等于在第二端部的固定点之间的距离。支撑结构包括支撑部件(16),所述支撑部件(16)连结到至少两个柔性部件(13)的至少一侧上。本发明也涉及一种干涉仪、和一种用来减小干涉仪的可移动反射镜的倾斜的方法。
搜索关键词: 移动 反射 支撑 结构 减小 倾斜 方法 以及 干涉仪
【主权项】:
一种用于干涉仪的可移动反射镜的支撑结构,所述支撑结构包括:‑固定框架(11),‑可移动框架(12),所述可移动反射镜(42)布置成能够连结到该可移动框架上,以及‑至少两个柔性部件(13),所述部件(13)的第一端部紧固到所述固定框架(11)上,所述部件(13)的第二端部紧固到所述可移动框架(12)上,使得在每个柔性部件(13)的固定点之间的距离基本上相同,并且在所述第一端部的固定点之间的距离基本上等于在所述第二端部的固定点之间的距离;其特征在于,所述支撑结构包括支撑部件(16),所述支撑部件(16)连结到至少两个柔性部件(13)的至少一侧上。
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