[发明专利]一种化学溶液沉积快速制备GdBCO薄膜的方法有效
申请号: | 201110048012.8 | 申请日: | 2011-02-28 |
公开(公告)号: | CN102134712A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 金利华;李成山;卢亚锋;严武卫;于泽铭 | 申请(专利权)人: | 西北有色金属研究院 |
主分类号: | C23C20/08 | 分类号: | C23C20/08;C04B35/45;C04B35/64;C04B35/624;H01L39/24 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 谭文琰 |
地址: | 710016*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种化学溶液沉积快速制备GdBCO薄膜的方法,该方法包括:一、制备GdBCO前驱液;二、将GdBCO前驱液均匀涂覆于铝酸镧单晶衬底或NiW/Y2O3/YSZ/CeO2缓冲层上;三、直接进行高温热处理,冷却后得到GdBCO薄膜。本发明的方法采用一步法替换传统的两步法,减少热处理次数,提高了样品成品率及制备效率,有利于实现连续动态制备GdBCO长带。本发明所需装置简单,成本低,制备方法简单易行,能够制备出高性能样品。 | ||
搜索关键词: | 一种 化学 溶液 沉积 快速 制备 gdbco 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种化学溶液沉积快速制备GdBCO薄膜的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)制备GdBCO前驱液:将乙酸钆、三氟乙酸钡和苯甲酸铜按Gd∶Ba∶Cu=1∶2∶3的原子比溶解于甲醇中,然后进行减压蒸馏去除杂质水,再加入螯合剂,最后用甲醇定溶得到GdBCO前驱液;所述螯合剂为乙醇胺或三乙醇胺,螯合剂的加入量为铜离子摩尔量的3~5倍,所述GdBCO前驱液中钆、钡和铜金属离子的总浓度为1mol/L~1.5mol/L;(2)前驱液涂覆:采用旋涂法或浸涂法将步骤(1)中所述GdBCO前驱液均匀涂覆于铝酸镧单晶衬底,然后在温度为120℃~150℃条件下干燥,得到表面附着1μm~2μm固化膜的铝酸镧单晶衬底;或者采用旋涂法或浸涂法将步骤(1)中所述GdBCO前驱液均匀涂覆于NiW/Y2O3/YSZ/CeO2缓冲层上,然后在温度为120℃~150℃条件下干燥,得到表面附着1μm~2μm固化膜的NiW/Y2O3/YSZ/CeO2缓冲层;(3)高温热处理:将步骤(2)中所述表面附着固化膜的铝酸镧单晶衬底或表面附着固化膜的NiW/Y2O3/YSZ/CeO2缓冲层置于管式炉中进行高温热处理,随炉冷却得到GdBCO薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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