[发明专利]一种固化后封壳前的石英晶体产品的清洗方法无效
| 申请号： | 201110049275.0 | 申请日： | 2011-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102172587A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 董维来;刘海珊;孙红喆;陈伟;孙建中 | 申请（专利权）人： | 天津源天晟光伏设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽英 |
| 地址： | 300457 天津市塘沽区天津市经济技*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固化后封壳前的石英晶体产品的清洗方法，它包括以下步骤：固化后封壳前的至少一个石英晶体产品依次从初级清洗槽中向下一级清洗槽中直至末级清洗槽中搬运，并在每一级清洗槽中采用纯水配合超声波按照预定的时间进行超声清洗；清洗槽中的纯水首先从末级清洗槽中加入，然后依次通过泵泵入下一级清洗槽直至初级清洗槽后排放；将经过超声清洗后的所述的至少一个石英晶体产品放置在烘干槽中利用加热的惰性气体对其进行热封烘干后取出。采用本方法不仅可以清洗掉石英晶片上下两个表面的污染物，同时可以清洗掉石英晶片下表面同基座内底部之间的空腔部分中积存的污染物。经检测DLD废品率可以降低1％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固化 后封壳前 石英 晶体 产品 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种固化后封壳前的石英晶体产品的清洗方法，其特征在于它包括以下步骤：(1)固化后封壳前的至少一个石英晶体产品依次从初级清洗槽中向下一级清洗槽中直至末级清洗槽中搬运，并在每一级清洗槽中采用纯水配合超声波按照预定的时间进行超声清洗；清洗槽中的纯水首先从末级清洗槽中加入，然后依次通过泵泵入下一级清洗槽直至初级清洗槽后排放；(2)将经过超声清洗后的所述的至少一个石英晶体产品放置在烘干槽中利用加热的惰性气体对其进行热封烘干后取出。
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