[发明专利]一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法无效

专利信息
申请号: 201110050073.8 申请日: 2011-03-02
公开(公告)号: CN102654474A 公开(公告)日: 2012-09-05
发明(设计)人: 李冬梅;周文;刘明;侯成诚;汪幸;闫学锋;谢常青;霍宗亮;张满红;龙世兵 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01N27/30 分类号: G01N27/30
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法,包括:利用石墨、无水硝酸钠、浓硫酸与高锰酸钾制备氧化石墨;利用该氧化石墨制备石墨烯;将该石墨烯与氧化锌溶于乙二醇溶液,超声振荡得到混合溶液;用移液器吸取该混合溶液滴涂在器件的敏感膜上,真空干燥得到石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜。本发明利用石墨烯优异的电子传导特性,通过电导率的变化来改变频率的变化,从而达到检测气体的目的。所用的是掺杂氧化锌的石墨烯,能大大提高敏感膜敏感度。石墨烯是通过化学分散法合成的,相比微机械剥离方法可控性高,可以大规模的生产。
搜索关键词: 一种 石墨 掺杂 氧化锌 纳米 薄膜 制作方法
【主权项】:
一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法,其特征在于,包括:利用石墨、无水硝酸钠、浓硫酸与高锰酸钾制备氧化石墨;利用该氧化石墨制备石墨烯;将该石墨烯与氧化锌溶于乙二醇溶液,超声振荡得到混合溶液;用移液器吸取该混合溶液滴涂在器件的敏感膜上,真空干燥得到石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜。
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