[发明专利]压电体膜的制造方法、压电元件、液体喷射头及喷射装置有效
| 申请号： | 201110050753.X | 申请日： | 2011-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102194992A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 滨田泰彰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/08;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够制造对环境友好且相对介电常数高的压电体膜的压电体膜的制造方法、压电元件、液体喷射头及液体喷射装置。其具有下述工序：通过含有含Bi、Fe、Mn、Ba及Ti的金属化合物的前体溶液而形成压电体前体膜的工序，和通过加热所述压电体前体膜进行结晶化而得到在(110)面优先取向的压电体膜的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 元件 液体 喷射 装置 | ||
【主权项】：
一种压电体膜的制造方法，其特征在于，具有：通过含有含Bi、Fe、Mn、Ba及Ti的金属化合物的前体溶液而形成压电体前体膜的工序，和通过加热所述压电体前体膜进行结晶化而得到在110面优先取向的压电体膜的工序。
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