[发明专利]镀膜装置

摘要

一镀膜装置，其包括腔体及收容于腔体内的转盘、工件挂具及靶体。工件挂具包括一定位轴、两偏心轮、一保持架、两往复轴及一承载板。定位轴及保持架设于转盘上，且彼此能相对转动，两偏心轮轴心沿定位轴轴向固定在定位轴上，且偏心方向相反，各偏心轮边缘设有一环形滑槽。保持架收容偏心轮及定位轴，定位轴固定于转盘上，保持架随转盘转动且能自转，两往复轴分别对应两偏心轮滑动设置于保持架上，各往复轴一端可滑动地卡合于偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于承载板的端部，当保持架相对定位轴转动，两偏心轮分别驱动两往复轴沿定位轴径向作往复运动，且两往复轴的运动方向相反。通过往复轴带动承载板两端部交替靠近靶体，提高两侧镀膜均匀性。

主权项

一种镀膜装置，其包括一个腔体、一个转盘、至少一个工件挂具及至少一个靶体，所述转盘、工件挂具及所述靶体设于腔体内，其特征在于，所述工件挂具包括一个定位轴、两个偏心轮、一个保持架、两个往复轴及一个承载板，所述定位轴及保持架设置于所述转盘上，且彼此能够相对转动，所述两个偏心轮的轴心沿所述定位轴的轴向固定于所述定位轴上，且偏心方向相反，所述各偏心轮的边缘设有一环形滑槽，所述保持架收容所述偏心轮及所述定位轴，所述定位轴固定连接于所述转盘上，所述保持架随所述转盘一起转动且能够沿保持架自身中心轴转动，所述两个往复轴分别对应所述两个偏心轮滑动设置于所述保持架上，所述各往复轴一端可滑动地卡合于所述偏心轮的环形滑槽内，另一端转动连接于所述承载板一端部，当所述保持架相对所述定位轴转动时，所述两个偏心轮分别驱动所述两个往复轴沿所述定位轴的径向作往复运动，且所述两个往复轴的运动方向相反。