[发明专利]加速度计止挡结构无效
| 申请号： | 201110053174.0 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102156194A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 钱栋彪;黄庆安;唐洁影;宋竞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P1/00 | 分类号： | G01P1/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 朱戈胜;王玉梅 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加速度计止挡结构，包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头；面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上，其底部向中心处凹陷；止挡接触头为T字型，T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部，T字尾部穿出至凹陷处外，所述止挡接触头与面内止挡层凹陷处之间留有间隙；离面止挡层位于面内止挡层之上且与之相连，所述离面止挡层覆盖止挡接触头T字首部的部分面积，并与止挡接触头T字首部间留有的间隙。本发明结构简单、能够实现在三维方向上有效控制止挡接触头的自由行程，且在大冲击环境下整个加速度计止挡结构不容易发生粘附和损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度计 结构 | ||
【主权项】：
一种加速度计止挡结构，其特征在于：包括衬底基板（1）、面内止挡层（2）、离面止挡层（3）以及可动的止挡接触头（6）；面内止挡层（2）通过锚区（4）固定于衬底基板（1）之上，其底部向中心处凹陷；止挡接触头（6）为T字型，T字首部位于面内止挡层（2）的凹陷处内部，T字尾部穿出至凹陷处外，所述止挡接触头（6）与面内止挡层（2）之间留有间隙；离面止挡层（3）位于面内止挡层（2）之上且与之相连，所述离面止挡层（3）覆盖止挡接触头（6）T字首部的部分面积，并与止挡接触头（6）T字首部间留有的间隙。
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