[发明专利]大行程三平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法无效
| 申请号： | 201110053202.9 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102182899A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李威;叶果;杨雪锋;王禹桥 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/18;F16M11/20;G01B11/02 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 221116 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种大行程三平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法，属于三平动微动平台及其方控制方法。该精密微动平台系统的激光位移传感器与中央控制单元的输入端相连，激光位移传感器位于精密微动平台外，位移检测挡板安装在精密微动平台上，激光位移传感器与位移检测挡板相对应；中央控制单元的输出端与驱动器电源的输入端相连，驱动器电源的多路输出端与各微位移驱动器相连，微位移驱动器安装在精密微动平台内。精密微动平台采用对称结构，有效避免了运动方向上的耦合和“温漂效应”，且结构简单紧凑、定位精度高、能实现1mm×1mm×50um的工作范围，可广泛用于生物医学工程、光纤对接等需要精细操作和加工的领域。 | ||
| 搜索关键词： | 行程 平动 正交 解耦型 精密 微动 平台 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种大行程三平动正交解耦型精密微动平台，其特征是：该精密微动平台系统包括精密微动平台、微位移驱动器、驱动器电源、中央控制单元、激光位移传感器和位移检测挡板，激光位移传感器与中央控制单元的输入端相连，激光位移传感器位于精密微动平台外，位移检测挡板安装在精密微动平台上，激光位移传感器与位移检测挡板相对应；中央控制单元的输出端与驱动器电源的输入端相连，驱动器电源的多路输出端与各微位移驱动器相连，微位移驱动器安装在精密微动平台内。
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