[发明专利]分体式气足有效
| 申请号： | 201110053278.1 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102678748A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 李进春;齐芊枫;方洁;郑椰琴;夏海;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的分体式气足用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动，包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构、设置在所述气足板上的真空预紧力结构，所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。本发明的分体式气足气浮结构与真空预紧力结构分离，避免气足板在受到真空预紧力作用时产生弯曲变形，对气浮区域产生的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 | ||
【主权项】：
一种分体式气足，用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动，包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构，其特征在于，还包括设置在所述气足板上的真空预紧力结构，所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。
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