[发明专利]一种用于3寸多晶硅生长的装置及方法无效
| 申请号： | 201110055703.0 | 申请日： | 2011-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102140682A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 柳祝平;黄小卫 | 申请（专利权）人： | 元亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/10 | 分类号： | C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于3寸多晶硅生长装置及其方法，包括石英制成的隔板、上下传动机构、驱动电机。下种之前，启动驱动电机，将隔板下降到接近硅液面处预热；待隔板温度与硅液温度接近后，再将隔板下降到硅液面上，隔板上端高出硅液5mm，稳定后下种；等径生长过程中，随着晶体的提拉，硅液逐渐消耗，隔板将与硅液同时下降以尽量保持隔板上端始终高出硅液面5mm；拉晶结束后，将隔板提拉出硅液面。隔板为空心圆柱形，下端开有若干孔隙，以维持硅液混合均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于3”多晶硅生长装置，其装置包括：隔板，上下传动机构，驱动电机；
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